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    對位平台的精度可以去到1個微米，芯片的印刷就用到這個精度。往低去了，像是手機屏幕的貼合，用到的精度也就3個微米以內。

    常用的對位平台有三種，xyθ結構，5M結構,UVW結構。它們的結構不一樣，但是核心功能都是對位，通過X軸移動，Y軸移動，θ軸旋轉，實現對位功能。UVW對位平台是日本人發明的，它由上板，下板和四個單體組組成。UVW對應的是三個動力軸，X軸方向兩個馬達（VW軸），Y軸方向一個馬達（U），X軸兩個馬達同動實現X軸移動，Y軸一個馬達控製Y軸移動，X軸兩個不同步的時候實現θ軸轉動。這樣，通過控製三個馬達實現了X，Y的的移動，θ軸旋轉實現對位。

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